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VCSEL全稱為垂直腔面發射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser),是半導體激光器的一種,當前以砷化鎵半導體為基礎材料的VCSEL居多,發射波長主要為近紅外波段。
顧名思義,VCSEL是一種垂直于襯底面射出激光的激光器,有區別于傳統的邊發射半導體激光器,如F-P激光器(法布里-珀羅激光器)、DFB(分布式反饋激光器)。其可以在襯底上多個方向上排列多個激光器,從而形成并行光源或者面陣光源,是光纖通信或者光感測領域的主要光源之一。
相較于傳統的半導體激光器,VCSEL有以下諸多優點:
1)有源層體積極小,從而可以獲得極低的工作閾值,如材料工藝發展可期待極低閾值甚至無閾值發光器件;
2)波長和閾值對溫度變化相對不太敏感(當然VCSEL本身也屬于半導體激光器的一種,也就逃脫不了溫度對其影響的宿命,其波長相對于溫度變化的溫漂系數大約為0.06 nm/℃,相比于F-P激光器的0.3 nm/℃來說已經小很多了。);
3)腔長量級與波長相近,甚至更小(半波長量級),故縱模間隔較大,可實現單縱模出射;
4)可得到較大的馳豫振蕩頻率,從而實現較高的調制頻率;
5)出射圓形光斑,易于與光纖耦合;
6)封裝簡易,且可以形成二維激光陣列;
7)預期工作壽命達10萬小時及以上。