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色散共焦位移傳感器

色散共焦位移傳感器是萊森光學(LiSen Optics)集成了先進光譜分析和共焦成像技術的高精度位移和厚度的最新測量工具。是現代工業自動化和精密測量領域中的前沿技術產品。其通過白光光源和色散元件的巧妙結合,實現了納米級精度的位移和厚度測量,可對樣品表面微小變化的進行精確測量。

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色散共焦位移傳感器是萊森光學(LiSen Optics)集成了先進光譜分析和共焦成像技術的高精度位移和厚度的最新測量工具。是現代工業自動化和精密測量領域中的前沿技術產品。其通過白光光源和色散元件的巧妙結合,實現了納米級精度的位移和厚度測量,可對樣品表面微小變化的進行精確測量。

無論是在復雜的制造過程中,還是在精密的科研實驗中,色散共焦位移傳感器都能提供可靠的測量數據,幫助用戶實現高效、高質量的生產和研究。并且色散共焦位移傳感器廣泛應用于工業自動化、材料科學、精密加工、半導體檢測和表面測量等領域。

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原理說明_畫板 5.png

 白光光源發出的光通過共焦孔

 光經過色散元件,被分成不同波長的光

 不同波長的光通過物鏡,在樣品的不同深度聚焦

 當樣品表面與某一波長的光聚焦平面一致時,該波長的光通過共焦孔并被光譜儀檢測到

 光譜儀記錄光譜數據,并通過數據處理確定樣品表面的高度和位移

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 全方位測量:無死角設計避免角度限制和減少測量盲區,適用于復雜結構的測量,如深溝結構等。

 高精度成像:實現小至3微米成像光斑,提升線性精度和位移再現性,同時具備高達百納米級的超高重復性精度和線性精度。

 極高靈敏度:優化光譜儀與高亮度光源,提高極微弱光強度的檢測能力,如透明物體。

 高光強:采用高亮LED光源,采用棱鏡方案,采用大面積線/面COMS提升光能利用率。

 多材料適應性:支持多層膜層/膠合玻璃測量,能夠適應各種復雜形狀的表面,保證不同材料測量性能。

 抗干擾設計:純光學器件探頭,光纖連接,避免電磁干擾。

 無損高速測量:非接觸式測量,可重復性好,34000 Hz采樣率適用于高速生產線。

 靈活配置成本控制:搭配不同配置提升測量精度,多通道控制器測量降低成本。

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